真空封管机是用于在真空或惰性气体环境中对玻璃管、金属管或其他容器进行密封的专用设备,广泛应用于电子、材料科学、半导体制造、科研实验等领域。
真空封管机整套系统通常由以下核心部件组成:
一、核心功能部件
1.真空系统
真空泵:提供负压环境,常见类型包括旋片式真空泵、扩散泵或分子泵(根据真空度要求选择)。
真空腔室:容纳待封管件的密闭空间,通常由不锈钢或铝合金制成,配备观察窗和密封门。
真空规:实时监测腔室内的真空度(如皮拉尼规、热偶规或电离规),确保达到工艺要求。
气动/电动阀门:控制真空腔室与外界的通断,支持快速抽气和充气(如惰性气体回填)。
2.加热封装单元
加热炉:局部或整体加热封管区域,温度范围通常为常温~1000℃(可调节),支持石英管、玻璃管或金属管的熔封。
温度控制器:PID温控系统,精确设定加热温度和时间,避免过热或封堵不严。
火焰喷枪(可选):部分机型配备氢氧焰或乙炔焰喷枪,用于玻璃管的高温熔融密封。
3.工作台与夹持机构
旋转/平移工作台:用于固定和调整待封管件的位置,支持多工位连续操作。
精密夹具:适配不同管径(如Φ1~50mm)的夹持装置,确保封管过程中的稳定性。
三维调节支架:微调管件角度和高度,适应复杂封堵需求。
二、真空封管机辅助功能模块:
1.气体处理系统
惰性气体充气模块:在封管前向腔室或管内充入氩气、氮气等保护气体,防止氧化或污染。
气体混合装置(可选):按比例混合多种气体,满足特殊工艺需求。
压力传感器:监控充气压力,确保管内气压稳定。
2.冷却系统
水冷或风冷装置:用于快速冷却加热后的管件,减少热应力损伤,提升封管效率。
热交换器(可选):针对高温工艺设计,加速腔室降温。
3.尾气处理单元
废气吸附过滤器:捕获封管过程中产生的挥发性有机物或有害气体。
真空油脂收集器:防止真空泵油污回流至腔室。
