微区扫描电化学工作站

Uniscan M470

微区扫描电化学工作站基于电化学扫描探针设计，具有超高测量分辨率及空间分辨率的非接触式微区形貌及电化学微区测试系统，快速精准的闭环定位系统为电化学扫描探针纳米级研究的需求而特别设计。目前已迭代至第四代扫描探针系统，是最灵活的电化学扫描探针工作平台，适配多种探针技术和不同模块。

一、9种探针技术

1.扫描电化学显微系统（SECM）

2.交流扫描电化学显微镜系统（ac-SECM）

3.间歇接触扫描电化学显微镜系统（ic-SECM）

4.微区电化学阻抗测试系统(LEIS)

5.扫描振动点击测试系统（SVET）

6.电解液微滴扫描系统（SDS）

7.交流电解液微滴扫描系统（ac-SDS）

8.扫描开尔文探针测试系统（SKP）

9.非触式微区形貌测试系统（OSP）

二、M470 微区扫描电化学工作站特征：

1.SECM自动处理曲线。

2.SECM用户自定义处理曲线步长变化。

3.高分辨率读取。

4.手动或自动调节相位。

5.倾斜校正。

6.X或Y曲线相减（5阶多项式）。

7.2D或3D快速傅里叶变化。

8.实验，探针移动和区域绘图的自动排序。

9.图形实验测序引擎（GESE）。

10.支持多区域扫描。

11.所有实验多个数据视图。

12.峰值分析。

三、扫描工作台（适配所有探针技术）                

1.扫描范围（x,y,z）：大于100mm

2.扫描驱动分辨率 ：高0.1nm

3.闭环定位：线性零滞后编码器，直接实时读出x,z和y位移

4.轴分辨率（x,y,z）：20nm

5.大扫描速度：12.5mm/s

四、压电（ic-和ac-扫描探针技术）

1.振动范围：20nm~ 2μm峰与峰之间1nm增量

2.最小振动分辨率：0.12nm(16-bit DAC,4μm)

3.压电晶体伸展：100μm

4.定位分辨率 ：0.09nm(20-bit DAC ,100μm)