探针式轮廓仪（台阶仪）

探针式轮廓仪（台阶仪）KLA Tencor P7 /P17是UltraLite 传感器、恒力控制和超平扫描样品台结合，实现了好的测量稳定性。通过使用点击式样品台控制、顶视和侧视光学元件以及具有光学变焦功能的高分辨率相机，可快速轻松地设置程式。支持2D或3D测量，可使用多种滤波、调平和分析算法来测量表面形貌。通过图形识别、序列和特征检测实现全自动测量。

探针式轮廓仪（台阶仪）技术特点

高精度2D/3D 表面形貌扫描

超大范围的单次扫描量程，无需图像拼接

纳米至1000微米台阶高度测量

粗糙度和波纹度测量

样品翘曲和曲率半径测量

2D/3D薄膜应力测量

表面缺陷检测

探针扫描

扫描载台具有单程150 mm的精确扫描范围以及大1 mm的扫描高度范围，从而保证高质量的2D和3D扫描数据。

3D成像

通过3D扫描可以得到表面的三维成像，呈现出彩色三维图像或自上而下的等高线图像。可以从中提取截面/线中的三维或二维数据。

应力分析

能够测量在生产包含多个工艺层的半导体器件期间所产生的应力。使用应力卡盘将样品支撑在中性位置并精确测量样品翘曲，然后通过应用Stoney方程来计算应力。2D应力通过在直径达150mm的样品上通过单次扫描测量，无需图像拼接。3D应力的测量采用多个2D扫描，并结合θ平台在扫描之间的旋转对整个样品表面进行测量。

Apex软件

Apex分析软件通过提供调平、滤镜、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术的扩展套件，增强了P-7的标准数据分析能力。 Apex支持ISO粗糙度计算方法以及如ASME之类的本地标准。 Apex还可用作报告编写平台，具有添加文本、注释和是/否合格的准则。 Apex提供八种语言的版本。