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轮廓/膜厚测量
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椭偏仪:超薄膜的实时可视化分析测试,实时观察样品微观尺度上的结构。可以测量诸如薄膜厚度、折射率和吸收系数等参数。也可以对薄膜进行区域化(选区)分析,获得所选区域的成像分析图。
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