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轮廓/膜厚测量
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探针式轮廓仪(台阶仪)高精度、低噪声、高稳定性和大扫描量程,这些技术特点为P系列台阶仪在晶圆测试领域的广泛使用奠定了坚实的基础,也为其拓展了在其他材料测试方面的应用。
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