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原子力显微镜可进行高精度的粗糙度、台阶高度及微纳米级别三维轮廓等测量，同时可以测量相位、电场、磁场、导电力等其他各种高级物理量。
椭偏仪：超薄膜的实时可视化分析测试，实时观察样品微观尺度上的结构。可以测量诸如薄膜厚度、折射率和吸收系数等参数。也可以对薄膜进行区域化(选区)分析，获得所选区域的成像分析图。
白光干涉垂直扫描和移相干涉测量法，0.1nm台阶，采用TotalFocus 技术，全视场真彩色图像。
多模组三维光学轮廓仪标配ZDot白光共聚焦逐层成像，可选装多模式光学系统。
探针式轮廓仪（台阶仪）源自AFM的光学杠杆技术，精确测量台阶高度及表面轮廓。
探针式轮廓仪（台阶仪）高精度、低噪声、高稳定性和大扫描量程，这些技术特点为P系列台阶仪在晶圆测试领域的广泛使用奠定了坚实的基础，也为其拓展了在其他材料测试方面的应用。
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