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轮廓/膜厚测量
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白光干涉垂直扫描和移相干涉测量法,0.1nm台阶,采用TotalFocus 技术,全视场真彩色图像。
多模组三维光学轮廓仪标配ZDot白光共聚焦逐层成像,可选装多模式光学系统。
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