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详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 50万-100万 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 非接触式轮廓仪/粗糙度仪 | 产地类别 | 进口 |
| 应用领域 | 综合 | ZSI模式分辨率： | 0.5? |
| 最小台阶： | 0.1nm |
多模组三维光学轮廓仪Zeta-20标配ZDot技术，可选装多模式光学系统。强大的成像测量功能，使其能够对各种样品进行测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理等。
1.纳米及微米级台阶测量
2.粗糙度分析
3.薄膜厚度测量
4.三维轮廓测量
5.全表面缺陷测量及分类
6.特征图形全自动侦测与表征
7.高深宽比表面轮廓成像
True color（真彩）无限远焦点图像
多模组三维光学轮廓仪模式选择
| 适用范围 | ZDOT | ZI | ZIC | ZSI | ZFT |
| 粗糙度＞40nm | √ | ||||
| 粗糙度＜40nm | √ | ||||
| 大视场、Z轴高分辨 | √ | ||||
| 15nm～25mm台阶 | √ | ||||
| 5nm～100μm台阶 | √ | ||||
| ＜10nm台阶 | √ | ||||
| 30nm＜膜厚＜75μm | √ | ||||
| 膜厚＞75μm | √ |
基础模块
| 横向准确度＜1% | 彩色CCD：2/3”，2448×2048 |
| 水平分辨率：54nm | 可测高度：40mm |
| Z轴分辨率：13nm/2nm | 光源：高亮度LED |
| 自动XY载台150×150mm | 样品反射率：0.5%~100 |
测试系统选项
1.标准物镜：2.5×，5×，10×，20×，50×，100×，150×
2.特殊物镜：长工作距离，浸没物镜，TTM物镜
3.ZI、ZIC、ZFT、ZSI（0.5Å分辨率，0.1nm台阶高度测试）
载台与卡盘选项
1.手动100mm×100mm或300mm×300mm载台
2.自动150mm×150mm或180mmx200mm载台
3.压电陶瓷载台（2nm闭环精度，200µm工作距离）
4.高精度倾斜载台
5.手动旋转载台
6.卡盘：2"-6"、65mm-95mm、背光卡盘等，可定制
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